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用于 S/TEM 分析的试样制备工作流程的进展

来自 TESCAN 集团的 Lucille A. Giannuzzi 介绍了 TESCAN 在硬件、软件和自动化工作流程方面的最新创新成果,这些创新成果可用于制备电子透明试样以进行 S/TEM 分析。

网络研讨会说明

 

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来自 TESCAN 集团的 Lucille A. Giannuzzi 介绍了 TESCAN 在硬件、软件和自动化工作流程方面的最新创新成果,这些创新成果可用于制备电子透明试样以进行 S/TEM 分析。

研讨会重点介绍了 TESCAN 的 BrightBeam™ SEM 扫描电子显微镜柱(通过 BSE 能量过滤提供超高分辨率 (UHR) 成像)和 TEM AutoPrep™ Pro 软件(用于在 Ga+ 和 Xe+ 离子 FIB 平台上全自动制备试样)。

该软件利用机器学习技术实现精确的原位抬出 (INLO) 和安装。此外,TESCAN 还推出了 AURA Gentle Ion Beam™,通过低能量 Ar+ 离子研磨提高试样质量。MISTRAL™ 等离子 FIB 柱的分辨率达到了业界领先的 10 nm,电流密度和光束稳定性也得到了提高。

会议亮点

自动 TEM 样品制备:TEM AutoPrep™ Pro 为原位和原位取出提供了全自动流程,集成了用于高精度探针附着的机器学习功能。

使用 BrightBeam™ 的高级 SEM 成像:

增强等离子 FIB 分辨率: MISTRAL™ 色谱柱的分辨率达到业界领先的 10 nm,专为高质量原型和 S/TEM 试样制备而优化。

 

会见发言人

Lucille-A-Giannuzzi

Lucille A. Giannuzzi 博士于 2019 年加入 TESCAN 美国公司,担任大西洋中部地区的区域销售经理。Giannuzzi 博士在聚焦离子束、扫描电子和透射电子显微镜方面拥有丰富的专业知识,并带来了横跨物理和生命科学的应用知识。

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