从理想到现实：就等离子 FIB 系统的未来对 Anne Delobbe 进行独家专访

从理想到现实：就等离子 FIB 系统的未来对 Anne Delobbe 进行独家专访

离子束技术专家 Anne Delobbe 对 ORSAY PHYSICS 和 TESCAN 的创新产生了重大影响。她拥有二十多年的经验，对新项目和设备有着深刻的理解和远见。在 ORSAY PHYSICS 创始人 Pierre Sudraud 富有远见的领导力的激励下，Anne 和她的团队致力于将等离子技术应用于聚焦离子束 (FIB) 柱。

这种专业技术的最终成果是推出了 AMBER X 2，这是一种尖端的等离子 FIB-SEM 系统，为材料科学研究树立了新标准。我们将为您带来对 Anne 的专访，讨论这一发展及其他问题。

但在您深入了解访谈内容之前，请在日历上记下我们即将举行的网络研讨会！作为迄今为止最先进的 FIB-SEM TESCAN AMBER X 2 发布会的一部分，我们将与您分享有关这款最新工具的重要知识。以下是详细信息：

网络研讨会系列概述

网络研讨会 #1：介绍 AMBER X 2 和 AMBER 2 - 实现快速、实用和精确的新一代 FIB-SEM

日期和时间：2024 年 8 月 20 日，欧洲中部时间上午 9 点和下午 5 点

主持人Martin Sláma，TESCAN 产品营销经理

了解 TESCAN 在 FIB-SEM 领域的创新历程、Mistral™ 等离子 FIB 的强大功能以及 AMBER X 2 和 AMBER 2 的实际应用。

网络研讨会 #2：重新定义的 FIB-SEM - 使用 AMBER X 2 体验 3D 多模态表征的速度、精度和实用性

日期和时间：2024 年 8 月 22 日，欧洲中部时间上午 9 点和下午 5 点

主持人TESCAN 产品营销经理 Tomáš Šamořil

掌握三维多模态表征技术，了解如何平衡数据质量和数据量，以及如何以最小的人工痕迹加快分析速度。

网络研讨会 #3：新一代 TESCAN TEM 片剂自动化 TEM AutoPrep Pro™：使用 AMBER 2 和 AMBER X2 提高标本制备的速度和实用性

日期和时间：2024 年 9 月 3 日，欧洲中部时间上午 9 点和下午 5 点

主持人：主持人：TESCAN 产品营销经理 Martin Sláma。

深入了解高通量 TEM 样品制备、TEM AutoPrep Pro™ 自动工作流程以及 OptiLift™ 纳米机械手的精确薄片几何形状。

网络研讨会 #4：使用 TESCAN AMBER 2 进行纳米原型制作的实用性和精确性：您快速开发新型设备的通道

日期和时间：2024 年 9 月 5 日，欧洲中部时间上午 9 点和下午 5 点

主持人Milos Hrabovsky，TESCAN 纳米原型产品营销经理

利用 AMBER 2 简化的工作流程、多功能样品制备和全面的分析功能，释放快速设备开发的潜能。

就等离子 FIB 系统的未来对 Anne Delobbe 进行独家专访

您在离子束技术方面的经验对您在ORSAY PHYSICS开展新项目有何影响？

奥赛物理公司成立于 1989 年，一直致力于通过离子源和相关光学领域的创新项目来发展其先进技术。我很幸运，公司创始人皮埃尔-苏德罗（Pierre Sudraud）向我灌输了这种精神。适用于聚焦离子束柱（FIB）的等离子体技术也遵循着同样的创新之路。

我们在 2011 年左右开始了这一历程，在与 TESCAN 合并前不久，ORSAY PHYSICS 率先推出了双光束等离子 。这项技术已经发展了十多年，我们一直在不断创新，以提供更好的产品，而不仅仅是等离子源技术。我相信，我们即将推出的新型 FIB SEM 将令人信服地证明这一点。

是否有那么一刻，您意识到等离子体技术发展如此迅速，有可能颠覆镓的使用？

当我们克服预期的技术挑战，用独特的 FIBSEM ECR 等离子源产生第一束离子束时，我们就意识到我们正在做一件大事：等离子技术可能会改变游戏规则。此外，由于我们将从镓工作中获得的知识应用到等离子体中，应用开发进展非常迅速。使用等离子体源不仅可以获得更高的电流，而且在这一电流范围内，等离子体还显示出了一些优于镓的性能。这一交叉点继续向更低的电流移动，表明等离子 FIB 最终可能取代镓。

过去开发等离子技术的主要挑战是什么？

等离子体技术尚未用作 FIB 的离子源，直到本世纪初才开始在 FIB 应用中出现。技术难题在于开发一种足够紧凑的离子源，以便集成到离子柱中。奥赛物理公司拥有提供紧凑型、低功耗 ECR 离子源的专业技术，该离子源还具有无需更换易损件的优点。

您能描述一下您在 ORSAY PHYSICS 特别引以为豪的具体项目或成就吗？

我最自豪的时刻之一是向客户展示了我们的第一台 FIB 等离子设备。起初，该源又大又笨重，仅能提供一个微安培的电流。尽管有这些限制，我们的第一位客户，一家大型半导体公司，还是相信我们能在一年内开发出紧凑可靠的系统。我们成功了，Olivier Salord（等离子 FIB 项目经理）和我非常自豪地在加拿大安装了该系统，并见证了它的完美运行。

您认为离子束技术未来最有前途的等离子体发展趋势是什么？

低能量应用正变得越来越重要。起初，我们对等离子 FIB 所能达到的大电流感到惊讶--2 或 3 微安或更高，缩小了镓 FIB 与激光技术之间的差距。未来的发展方向是改进中电流和低电流，而不仅仅是大电流，使等离子 FIB 能够超越传统上使用镓完成的任务范围。我们的目标是涵盖低能量、中电流和高电流要求，从而拥有一个完整的范围。

您认为未来十年 ORSAY PHYSICS 在离子束行业中的作用将如何发展？

鉴于离子束可能的应用多种多样，从样品制备到离子注入或 SIMS，一些关键参数至关重要：可获得的离子类型、其能量和源特性，以及光学器件的性能。我们的目标是开发具有各种离子的更明亮的离子束源，因为不同的离子会以特定的方式与样品相互作用。我们已经在超高真空纳米空间和 QuiiN 平台上积累了这方面的经验。此外，我们还致力于改进光学系统，以减少色差和球差，从而缩小光束尺寸。这些途径--开发新离子源和改进光学器件--是我们未来发展的核心。

在高度专业化的离子束技术领域，TESCAN 和 ORSAY PHYSICS 如何区别于竞争对手？

在 TESCAN 公司的 Jaroslav Klima 和 ORSAY PHYSICS 公司的 Pierre Sudraud 富有远见卓识的领导下，该集团创造了世界第一的杰出业绩，例如在 Ga 和等离子体中首次使用双 FIB 扫描电镜光束。与 TESCAN 合并后，ORSAY PHYSICS 得以将其在 FIB 柱方面的专业技术与 TESCAN 在扫描电镜柱方面的专业技术相结合，提供处于创新前沿的顶级分析工具。我们在与关键人物和机构的合作方面也享有盛誉，这使我们能够了解未来应用的要求，确保我们继续成为首创公司。

TESCAN 成立于 1991 年，从最初只有 4-5 名工程师的初创公司发展到现在拥有 700 多名员工、在 8 个国家设有 10 多个分支机构的公司。我们是带电粒子光学仪器（包括扫描和扫描透射电子显微镜 (SEM & STEM)、聚焦离子束 (FIB) 和 X 射线计算机断层扫描 (micro-CT)）领域的领先企业，在 80 多个国家销售并运行着 4000 多台仪器。  

2013 年，公司与 ORSAY PHYSICS 合并，成为定制聚焦离子和电子束技术领域的全球领先企业；2018 年，公司又收购了比利时动态和微型 CT 技术领域的创新企业 XRE。最近的另一个里程碑事件是，美国私募股权公司 CARLYLE 于 2023 年收购了 TESCAN ORSAY HOLDING 及其所有子公司。TESCAN 集团的总部位于捷克共和国布尔诺，我们的大部分仪器都是在这里进行专业组装、测试并运往全球各地的客户手中。 

新闻联系人      

如需更多信息、采访请求或媒体垂询，请联系      

琳达-比拉勒，高级全球营销经理     

市场部      

TESCAN GROUP, a.s.; Libušina tř.21; 623 00 Brno - Kohoutovice; 捷克共和国      

电话：+420 530 353 478+420 530 353 478 Email： linda.bilal@tescan.com