从宏观到纳米
TESCAN FIB-SEM
在材料科学的强大功能
聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM)是材料科学领域的重要工具,可对材料进行详细检查和操作,用于各种应用。
3D FIB-SEM 为您开启材料内部神秘世界的大门
了解三维内部结构和特性对研究电池、金属和复合材料至关重要。掌握合适的显示比例才能准确反映样品结构,获得有效结论。
技术动态
将样品中的复杂细节呈现在整体环境去理解和分析,这很重要!
在当前观点泛滥的媒体环境中,提供观点所依据的数据背景与提供观点本身同等重要,甚至更为重要。显微镜也是如此,它诱使科学家和工程师只关注所研究材料中最微小的细节。但是,假设用 FIB 制备的横截面太小,而且是在没有缺陷的位置制作的?或者三维断层扫描是在浅层的小体积上进行的,显示的晶粒整体较小?在这两种情况下,缺乏上下文可能会导致不准确的结论。
了解为什么将样品中的复杂细节呈现在整体环境中去分析和理解对于得出准确的结论至关重要!

材料的二维/三维 UHR FIB-SEM 表征

利用氙离子体 FIB-SEM 进行的三维表征超越了表面,以卓越的三维精度揭示了复杂的结构。这种强大的分析技术组合能有效地处理较大的体积,降低误导结果的风险。EDS / EBSD 和 ToF-SIMS 等先进分析技术可揭示丰富的元素和结构细节,增强三维分析的深度和准确性。
用于 STEM/TEM 分析的 TEM 样品制备
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TEM 制备需要超薄样品(通常低于 50 纳米),以便进行高分辨率成像。我们的 FIB-SEM 技术提供两种配置:镓(Ga)离子束,使用方便,可与现有的 TEM 工作流程很好地集成,是直接样品制备的理想选择;氙(Xe)等离子体束,用途更广,能制备出非晶化损伤最小、无离子注入伪影的样品。
纳米级原型和纳米制造

纳米原型需要精确的材料操作,以满足精确的设计标准。我们的 FIB-SEM 配备了镓(Ga)离子束,可为纳米级制造提供精确的切割和沉积,是这方面的理想之选。它能用FIB 诱导沉积 (FIBID) 和蚀刻 (FIBIE)制造出复杂的纳米结构。精细聚焦的镓离子束在制作无缺陷的精细特征方面表现出色。
材料的二维/三维 UHR FIB-SEM 表征

利用氙离子 FIB-SEM 进行的三维表征超越了平面,以卓越的三维精度揭示了复杂的结构。这种强大的分析技术集合能有效地处理较大的体积,降低误导结果的风险。EDS / EBSD 和 ToF-SIMS 等先进分析技术可揭示丰富的元素和结构细节,增强三维分析的深度和准确性。
用于 STEM/TEM 分析的 TEM 样品制备
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TEM 制备需要超薄样品(通常低于 50 纳米),以便进行高分辨率成像。我们的 FIB-SEM 技术提供两种配置:镓(Ga)离子束,使用方便,可与现有的 TEM 工作流程很好地集成,是直接样品制备的理想选择;氙(Xe)等离子体束,用途更广,能制备出非晶化损伤最小、无离子注入伪影的样品。
纳米级原型和纳米制造

纳米原型需要精确的材料操作,以满足精确的设计标准。我们的 FIB-SEM 配备了镓(Ga)离子束,可为纳米级制造提供精确的切割和沉积,是这方面的理想之选。它能用FIB 诱导沉积 (FIBID) 和蚀刻 (FIBIE)制造出复杂的纳米结构。精细聚焦的镓离子束在制作无缺陷的精细特征方面表现出色。
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