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宏观到纳米

TESCAN
FIB-SEM 在以下领域的强大功能

材料科学

聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM)是材料科学领域的重要工具,可对材料进行详细检查和操作,用于各种应用。

3D FIB-SEM 为您开启材料内部神秘世界的大门

了解三维内部结构和特性对研究电池、金属和复合材料至关重要。掌握合适的显示比例才能准确反映样品结构,获得有效结论。

如切如磋,如琢如磨:
打造完美 TEM 样品的
精密工具

为扫描/透射电子显微镜(S/TEM)高分辨率成像制作超薄样品需要精确的制备。将试样厚度控制在 50 纳米以下并尽量避免缺陷是一项挑战。

FIB-SEM 纳米级制作能力:纳米原型设计

先进材料的设计标准极其精细,纳米原型设计能制作纳米级结构正是应此需求而生。 它的难点是纳米尺度的精确操作不容缺陷。 FIB-SEM 具有稳定、离子束聚焦范围窄的特点,可进行精确切割和剥蚀,是完成此艰巨任务的理想选择。此外,其打磨工作环境极其灵活,能应对各种材料和复杂的几何形状,这也是选择纳米原型制作工具的关键考量点。

技术动态

将样本中的复杂细节呈现在整体环境去理解和分析,这很重要! 

在当前观点泛滥的媒体环境中,提供观点所依据的数据背景与提供观点本身同等重要,甚至更为重要。显微镜也是如此,它诱使科学家和工程师只关注所研究材料中最微小的细节。但是,假设用 FIB 制备的横截面太小,而且是在没有缺陷的位置制作的?或者三维断层扫描是在浅层的小体积上进行的,显示的晶粒整体较小?在这两种情况下,缺乏上下文可能会导致不准确的结论。

了解为什么将样品中的复杂细节呈现在整体环境中去分析和理解对于得出准确的结论至关重要!

TESCAN 撰写的科学论文,介绍了在 TEM 显微镜下观察复杂细节的重要性。

材料的二维/三维 UHR FIB-SEM 表征

FIB-SEM-01

利用氙等离子体 FIB-SEM 进行的三维表征超越了表面,以卓越的三维精度揭示了复杂的结构。这种强大的分析技术组合能有效地处理较大的体积,降低误导结果的风险。EDS / EBSD 和 ToF-SIMS 等先进分析技术可揭示丰富的元素和结构细节,增强三维分析的深度和准确性。

Datový zdroj 9

从任何样品中获取最佳 3D 表征数据

下载 TESCAN 摇摆样品台单页
Datový zdroj 13

以 ppm 浓度检测锂或碳等轻元素,用于电池研究

下载 TOF-SIMS 单页
Datový zdroj 11

最大限度地提高三维体积分析的样品表征通量 

下载 3D 多模态 FIB-SEM 层析成像传单

用于 STEM/TEM 分析的 TEM 样品制备

MicrosoftTeams-image (34)

TEM 制备需要超薄样品(通常低于 50 纳米),以便进行高分辨率成像。我们的 FIB-SEM 技术提供两种配置:镓(Ga)离子束,使用方便,可与现有的 TEM 工作流程很好地集成,是直接样品制备的理想选择;氙(Xe)等离子体束,用途更广,能制备出非晶化损伤最小、无离子注入伪影的样品。

Datový zdroj 2

即使没有 FIB-SEM 方面的专业知识,也能始终如一地制备高质量的 TEM 样品。

下载 TEM AutoPrep Pro
18

即使是要求极高的样品,也能获得高质量的 TEM 样品。

下载 TESCAN OptiLift™ 纳米机械手 单页
GIB_01-2

通过温和而精确的最终抛光,最大限度地减少样品损坏。

下载 Aura Gentle 离子束镜筒技术单页

纳米级原型和纳米制造

遮罩组 1-1

纳米原型需要精确的材料操作,以满足精确的设计标准。我们的 FIB-SEM 配备了镓(Ga)离子束,可为纳米级制造提供精确的切割和沉积,是这方面的理想之选。它能用FIB 诱导沉积 (FIBID) 和蚀刻 (FIBIE)制造出复杂的纳米结构。精细聚焦的镓离子束在制作无缺陷的精细特征方面表现出色。

Datový zdroj 4

微柱、悬臂和微流体通道等微型和纳米设备原型

下载 Essence™ Drawbeam 可扩展软件模块单页
Datový zdroj 15

用任何材料制备纳米结构

19

创建等离子半螺旋谐振器等三维纳米图形

材料的二维/三维 UHR FIB-SEM 表征

FIB-SEM-01

利用氙离子 FIB-SEM 进行的三维表征超越了平面,以卓越的三维精度揭示了复杂的结构。这种强大的分析技术集合能有效地处理较大的体积,降低误导结果的风险。EDS / EBSD 和 ToF-SIMS 等先进分析技术可揭示丰富的元素和结构细节,增强三维分析的深度和准确性。

Datový zdroj 9

从任何样品中获取最佳 3D 表征数据

下载 TESCAN 摇摆样品台单页
Datový zdroj 13

以 ppm 浓度检测锂或碳等轻元素,用于电池研究

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Datový zdroj 11

最大限度地提高三维体积分析的样品表征通量 

下载 3D 多模态 FIB-SEM 层析成像传单

用于 STEM/TEM 分析的 TEM 样品制备

MicrosoftTeams-image (34)

TEM 制备需要超薄样品(通常低于 50 纳米),以便进行高分辨率成像。我们的 FIB-SEM 技术提供两种配置:镓(Ga)离子束,使用方便,可与现有的 TEM 工作流程很好地集成,是直接样品制备的理想选择;氙(Xe)等离子体束,用途更广,能制备出非晶化损伤最小、无离子注入伪影的样品。

Datový zdroj 2

即使没有 FIB-SEM 方面的专业知识,也能始终如一地制备高质量的 TEM 样品。

下载 TEM AutoPrep Pro
18

即使是要求极高的样品,也能获得高质量的 TEM 样品。

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GIB_01-2

通过温和而精确的最终抛光,最大限度地减少样品损坏。

下载 Aura Gentle 离子束镜筒技术单页

纳米级原型和纳米制造

遮罩组 1-1

纳米原型需要精确的材料操作,以满足精确的设计标准。我们的 FIB-SEM 配备了镓(Ga)离子束,可为纳米级制造提供精确的切割和沉积,是这方面的理想之选。它能用FIB 诱导沉积 (FIBID) 和蚀刻 (FIBIE)制造出复杂的纳米结构。精细聚焦的镓离子束在制作无缺陷的精细特征方面表现出色。

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微柱、悬臂和微流体通道等微型和纳米设备原型

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用任何材料制备纳米结构

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我们的全球团队随时准备回答有关 TESCAN FIB-SEM 和 TESCAN 其他解决方案的问题。