TESCAN TENSOR
扫描透射电子显微镜

分析型 4D-STEM 技术解析 


 

更全面的获取电子束与样品相互作用的全部信息

4D-STEM (4D 扫描透射电子显微镜)是扫描透射电子显微镜的一种演变。 扫描透射电子显微镜 

 

它充分利用了混合像素直接电子衍射相机领域的创新技术,在 STEM 图像的每个像素上捕捉电子衍射花样。利用这种方法,当透射电子束扫描真实空间中的二维感兴趣区(ROI)时,显微镜会获取标记到每个像素的二维倒易空间图像(电子衍射花样),因此称为四维扫透电镜(4D-STEM)。

4D-STEM


TESCAN TENSOR 在 4D-STEM 的基础上更进一步,它还能为 4D-STEM 数据集中的每个像素获取 EDS 能谱以及旋进电子衍射花样形 (PED)。我们将这种功能称为分析型 4D-STEM。 

分析型 4D-STEM 可与更传统的 STEM 和 STEM 断层成像测量相结合,为功能材料、薄膜以及合成或天然晶体的纳米级多模态表征提供全面的解决方案。

播放视频,观看 4D-STEM 数据采集动画。

一体化设计


4D-STEM测量的性能、易用性以及因此而受到影响的可用性,历来受到现有(扫描)透射电镜镜筒缺乏4D-STEM组件集成的制约,这些镜筒最初并非为此目的而设计。

 

TESCAN TENSOR 则不同


这台显微镜不仅能够在电子束扫描的同时获取衍射成像、进行能谱(EDS)采集、执行电子束旋进、快速关闭电子束、以及近乎实时地进行4D-STEM数据分析和处理,而且还整合了强大的软件解决方案。它是一台专为分析型4D-STEM应用而设计的专用显微镜,从设计之初就针对分析型4D-STEM应用的需求进行了优化。


观看如何“近实时”地采集相位和取向图的视频。

随时可用的测量数据

 

该分析仪器具有多种 STEM、4D-STEM 和断层扫描测量功能,可随时对材料工程、半导体和晶体学应用中的各种材料进行纳米级、多模态形态、化学成分和结构表征。

有关 TESCAN TENSOR 测量方法的完整说明,请点击此处。

了解更多

TESCAN TENSOR 还具有卓越的性能,从0到1的系统设计理念贯穿首末,即使是没有经过深入培训和缺乏(扫描)透射电子显微镜操作经验的新用户也能快速上手。了解更多,请点击下方链接。

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