TESCAN TENSOR
扫描透射电子显微镜

 

旋进电子衍射 (PED)


前序电子衍射 (PED) 增强了从电子衍射图形中获取的信息。

  • PED 通过消除动态散射的影响，支持将获取的衍射花样与运动学衍射建模的模板相匹配。
  • PED 通过在更多的倒易空间中摇动 Ewald 球，增强了高阶反射的成像效果。

由于为 TEM 应用而设计的传统架构，在传统 (S)TEM 平台上实现电子束旋进具有挑战性。TESCAN TENSOR 则不同，它牢固地集成了快速（高达 72 kHz）、自动化的电子纳米束旋进功能。了解有关旋进电子衍射的更多信息。

Tensor-alt-texts-221102_final Tensor-alt-texts-221102_final 100% 12 要启用屏幕阅读器支持，请按⌘+Option+Z 要了解键盘快捷键，请按⌘斜线 直观显示了从旋进电子衍射花样中获得的增强信息。打开屏幕阅读器支持

 

单击此处，观看电子旋进及其对衍射花样影响的动画

 

 

从 您的电子衍射图形

图形显示了偏摆如何导致埃瓦尔德球在倒易空间中摇摆。

电子旋进是 TESCAN TENSOR 所集成的一项关键功能。

 

电子束旋进能力意味着入射电子束围绕显微镜的中心轴倾斜并持续旋转。电子旋进必须仔细对准，以确保旋进支点与样品表面重合，并确保电子束汇聚到尽可能小的圆形光斑中。

由于 TESCAN TENSOR 新系统结构的基本设计中集成了独特的电子柱设计和软件自动化，因此可以毫不费力地自动实现这一目标。

从旋进电子衍射花样谱中获得的增强信息的直观展示。

 

旋进辅助 4D-STEM 测量

TESCAN TENSOR 可让您在有电子束旋进或无电子束旋进的情况下轻松操作，进行全取向的 4D-STEM 测量，特别是取向分布、相位和应力分布图，以及虚拟 STEM 和衍射断层扫描。

旋进会导致埃瓦尔德球在往复空间中摇摆，从而产生许多正向结果：

  • 在保持衍射花样几何形状的同时，将动态电子相互作用的影响降至最低。

  • 与静态的埃瓦尔德球相比，在零阶区和高阶区（ZOLZ 和 HOLZ）能看到更多的衍射反射。

  • 强度通过布拉格条件进行整合，不会被复杂的对比模式所主导。


从动画中了解更多有关旋进电子衍射的信息。

由于没有动态衍射伪影（即禁止反射），产生的旋进电子衍射花样非常适合各种应用。其优点包括在绘制取向/相位图时能更好地区分衍射花样，并提高应变绘图的精度。TESCAN TENSOR 使用NanoMEGAS成熟可靠的ASTAR® 软件算法进行模板创建、图形索引和取向/相位绘图。

 

高阶反射还能改善纳米晶体材料的自证结构测定。TESCAN TENSOR 可选配 PETS Advanced 软件，该软件是FZU PETS Enhanced的一个版本，专为 TESCAN 定制。

点击此处了解有关 Dectris QUADRO 直接电子探测相机的更多信息

分析型 4D-STEM

 


TESCAN TENSOR具备两大特点：1. 配备有两个大角度立体探测器，能够快速获取STEM EDX元素图和断层图像。2. 4D-STEM扫描衍射与EDS元素分析可以同时进行，这是其独到之处。

尽管目前的4D-STEM数据分析平台还没有完全利用这一同步功能，但预计未来会有所改进。改进后的分析平台将能够借助同步功能，完成仅凭衍射或能谱数据无法实现的4D-STEM测量。

两个对称布置的大型无风压 EDS 探测器，用于分析 STEM 应用。

一体化设计


4D-STEM测量的性能、易用性以及因此而受到影响的可用性，历来受到现有（扫描）透射电镜镜筒缺乏4D-STEM组件集成的制约，这些镜筒最初并非为此目的而设计。

 

TESCAN TENSOR 则不同


这台显微镜不仅能够在电子束扫描的同时获取衍射成像、进行能谱（EDS）采集、执行电子束旋进、快速关闭电子束、以及近乎实时地进行4D-STEM数据分析和处理，而且还整合了强大的软件解决方案。它是一台专为分析型4D-STEM应用而设计的专用显微镜，从设计之初就针对分析型4D-STEM应用的需求进行了优化。


观看如何“近实时”地采集相位和取向图的视频。

集成直接电子探测相机 (DED)

 

TESCAN TENSOR 充分利用了高性能混合像素直接电子衍射相机（Dectris Quadro）的集成优势。这种相机具有动态范围高、体积大、读出速度快等特点，非常适合旋进辅助 4D-STEM 应用。

 

聆听混合像素 X 射线和电子探测器专家的意见，了解集成平台为何是直接电子（衍射）相机发挥最大性能的关键所在 

点击此处了解有关 DECTRIS QUADRO 衍射相机的更多信息

Dectris Quadro 是一款直接电子衍射相机，非常适合旋进辅助 4D-STEM 应用。

近超高真空（UHV）

 

超高真空工程是 TESCAN 的强项，这一点在我们的表面分析（超高真空 FIB/SEM）解决方案 NanoSpace 中体现得淋漓尽致。TESCAN TENSOR 可在样品区保持 10-6 Pa 的近超高真空，这几乎消除了镜筒残余真空中的烃类样品污染。 

针对中等电子束入射能量的优化

 

TESCAN TENSOR 的测量针对中等电子束加速电压进行了优化。这样可以让电子与样品有更多的时间进行相互作用，从而增强了电子散射对比度（暗场图像对比度），增加了X射线的产生，导致EDS计数率提高，并且降低了对电子剂量敏感样品的损伤风险。

集成电子束闸

 

扫描与衍射成像、EDS 采集和电子旋进同步进行，由快速（1 MHz）集成静电束闸提供帮助。

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