TESCAN 集团隆重推出纳米级分析领域的突破性成果：在我们的TESCAN TENSOR 上集成了前驱辅助 4D-STEM 相位和取向绘图以及同步 EDX 信号。由我们的专家率先提出的这一创新方法标志着复杂材料和半导体器件表征领域的重大飞跃。
TESCAN 开发的这一独特解决方案大大提高了纳米级多晶材料的相图绘制能力。我们的最新创新技术将 4D-STEM 数据的同步采集与 EDX 信号融合在一起，最终实现了前所未有的精确度，可以区分具有相似结构的相。这一突破确保了对最具挑战性的相进行精确分割和定量表征。
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图 1：（A）4D-STEM 数据集的采集，上图为样品图像，下图为单个像素记录的衍射图样。(B) 4D-STEM 数据采集示意图，在记录单个衍射图样时使用光束前冲（蓝线）。(C) 采用 1.2° 光束前驱时 4D-STEM 数据的改进：峰值与背景强度比增加，衍射光斑内的强度分布更均匀，并激发出更高角度的布拉格光斑。
主要功能
前驱辅助 4D-STEM
我们开创性的前驱辅助 TESCAN TENSOR 4D STEM 技术将电子显微镜技术带入了一个新时代。通过聚焦电子束扫描样品并收集复杂的衍射图样，我们可以揭示晶体结构缺陷和取向的全面细节。
EDX 信号：
EDX 的集成使我们能够检测到样品内部发出的独特 X 射线。当与 4D-STEM 数据相结合时，这一功能可让我们更深入地了解各种相的化学成分。
无缝集成：
TESCAN TENSOR 能够同时获取 4D-STEM 和 EDX 数据，有助于全面分析材料的结构组织和化学成分。这种综合方法对于精确表征复杂样品至关重要。
应用：
专门研究高级合金或陶瓷的冶金学家和材料加工工程师将发现我们的解决方案的巨大优势。这一创新技术在半导体工艺开发方面也具有重要价值，它能够辨别复杂设备架构中不同阶段的晶体学信息。
试想一下，您有能力区分多个相似的物相，每个物相都有其独特的晶体结构。TESCAN TENSOR 的多模态分析功能使这成为现实，让您能够识别晶格参数几乎完全相同的晶相。对于分析陶瓷、合金或纳米材料的人员来说，这一工具是不可或缺的，它能提供做出明智决策所需的洞察力。
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